METHOD AND APPARATUS OF UTILIZING A COATING FOR ENHANCED HOLDING OF A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE DURING HIGH PRESSURE PROCESSING,申请号EP20040708980-传众专利搜索

首页产品黄页商标征信

会员服务注册登录

法人/股东/高管

发明名称	METHOD AND APPARATUS OF UTILIZING A COATING FOR ENHANCED HOLDING OF A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE DURING HIGH PRESSURE PROCESSING
摘要
申请公布号	EP1590827(A2)	申请公布日期	2005.11.02
申请号	EP20040708980	申请日期	2004.02.06
申请人	SUPERCRITICAL SYSTEMS INC.	发明人	SHEYDAYI, ALEXEI;HILLMAN, JOE
分类号	B08B11/02;B25B11/00;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/20;H01J37/20;H01L21/68	主分类号	B08B11/02
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利

METHOD FOR GROWING SINGLE CRYSTAL

FLYTANDE KOLFIBERSTRUKTUR SOM BEKLAETTS MED ETT I VATTEN OLOESLIGT HYDROFOBT MATERIAL.

STAALTRAADSELEMENTER TIL ARMERING AF GUMMIMATERIALE OG MED EN ADHAESIONSFREMMENDE BELAEGNING

SKJOET FOR PRESSEFILT.

MASKIN FOR PRODUKSJON AV ELEKTRISK KONTAKTBAAND.

KRUMTAPAKSEL TIL FLERCYLINDREDE MOTORER

ANALOGIFREMGANGSMAADE TIL FREMSTILLING AF 4-AMINO-3-QUINOLIN-CARBOXYLSYREDERIVATER

METHOD FOR OBTAINING MOLTEN PIG IRON BY MELT REDUCING PROCESS

ANALOGIFREMGANGSMAADE TIL FREMSTILLING AF MERCAPTOSUBSTITUEREDE 2,3,4,5-TETRAHYDRO-1H-3-BENZAZEPINER

FREMGANGSMAATE FOR UTVINNING AV REN DIMETYLETER (DME).

VIKLEMASKIN MED EN INNRETNING FOR ADSKILLELSE AV VIKLERULLEN FRA VAREBANEN.

FREMSTILLING AV HOMOGENE PLASTROER OG EKSTRUDERINGSAPPARATUR DERTIL.

ELECTRIC WARMER

LYDABSORBSJONSBARRIERE.

FREMGANGSMAATE OG ANORDNING FOR ELEKTRISK UTLOESNING AV EKSPLOSJONER.

FREMGANGSMAATE FOR FREMSTILLING AV KJEMISK MASSE.

KLEBEMIDDELBLANDINGER.

PRODUCTION OF COMPOSITE SUPERFINE PARTICLES WITH JOINED STRUCTURE OF SUPERFINE PARTICLES OF NICKEL AND TITANIUM NITRIDE

CURABLE COMPOSITION

Menetelmä peruspainovärin ja syväpainovärin valmistamiseksi