折射导向之垂直腔表面发射雷射(VCSEL)及其制造方法

摘要

本发明系关于一种可靠之高频VCSEL，包含下分布之Bragg反射器(DBR)、主动区及上DBR。自上DBR蚀刻出圆柱体，以界定具有与平顶突起物(mesa)之侧壁形成大于九十度角之圆柱体下表面之平顶突起物。在与平顶突起物同心之圆柱体下表面蚀刻分离沟槽且延伸通过主动区。平顶突起物之部分侧壁及圆柱体下表面经质子植入。上DBR系使用低k介电物质平坦化，且n及p电接触点系耦合至主动区之相反两侧，以对其供给操作电流。