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经营范围
发明名称
用于物料控制系统介面之方法与装置
摘要
本发明提供用于管理在电子元件制造设备中之处理工具间移动小批次的方法及装置。在一些具体实施例中,会决定将处理之优先批次的数目,且在一处理工具之基材载入站处保留相等数目的承载件储存位置。藉由处理及转递占用的非优先批次及/或自该基材载入站移动未处理之占用非优先批次,使该数目的已保留承载件储存位置可用。接着将优先批次转移至已保留承载件储存位置。本发明提供其他具体实施例。
申请公布号
TW200535078
申请公布日期
2005.11.01
申请号
TW094105942
申请日期
2005.02.25
申请人
应用材料股份有限公司
发明人
杜非大卫C DUFFIN, DAVID C.;杰索丹尼尔R JESSOP, DANIEL R.;德斐拉麦可;布里亚米特;瓦尼加德L WARNER, GLADE L.
分类号
B65G49/07
主分类号
B65G49/07
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
美国
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