双极电晶体、具有该双极电晶体之半导体装置及其等之制造方法

摘要

本发明之课题在于藉由简单的方法，防止双极电晶体之电流增益之偏差，并且减低基极电阻。因此，本发明系在半导体基板上形成基极层之后，于层叠在此基极层上之绝缘膜，同时形成基极电极引出用开口及射极电极引出用开口，接着于前述基极电极引出用开口形成基极电极引出部，于前述射极电极引出用开口形成射极电极引出部。