泵浦

摘要

【发明课题】提供一种是为简单构成、大容量且小型，并且是具可靠性的半导体洗净装置用的泵浦。【课题解决手段】从成为定子6a大致圆筒状的铁心6aa内周面朝内侧，以等角度间隔突出设有复数的定子狭槽6ab，形成为放射状。于各定子狭槽6ab间，设有未图示绕组要配设的空间部6ac。然后，于空间部6ac，包覆着绕组填充有是为马达模制材的环氧树脂。于定子6a的内周面即定子狭槽6ab前端面，设有厚度薄的圆筒状定子密封12，是以定子狭槽6ab和空间部6ac的环氧树脂从外侧支撑着该定子密封12。