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发明名称
开缝式喷嘴前端的调整装置及调整方法
摘要
本发明系提供一种不会引起开缝式喷嘴的洗净不均,且可节约洗净液的小型开缝式喷嘴前端的调整装置、以及使用该调整装置之开缝式喷嘴的调整方法。该开缝式喷嘴前端的调整装置,系开口有特定宽度的涂布液吐出口,系由:洗净开缝式喷嘴的浸渍式洗净部、乾燥洗净后的喷嘴之乾燥部、及调整开缝式喷嘴的吐出口之预先分配部所构成,且设置于同一个装置。浸渍式洗净部在不使用开缝式喷嘴一定时间以上时,兼作浸渍保持开缝式喷嘴前端的乾燥防止部。
申请公布号
TW200535993
申请公布日期
2005.11.01
申请号
TW094109478
申请日期
2005.03.25
申请人
东京应化工业股份有限公司
发明人
岛井太;河田茂
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
日本
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