发明名称 开缝式喷嘴前端的调整装置及调整方法
摘要 本发明系提供一种不会引起开缝式喷嘴的洗净不均,且可节约洗净液的小型开缝式喷嘴前端的调整装置、以及使用该调整装置之开缝式喷嘴的调整方法。该开缝式喷嘴前端的调整装置,系开口有特定宽度的涂布液吐出口,系由:洗净开缝式喷嘴的浸渍式洗净部、乾燥洗净后的喷嘴之乾燥部、及调整开缝式喷嘴的吐出口之预先分配部所构成,且设置于同一个装置。浸渍式洗净部在不使用开缝式喷嘴一定时间以上时,兼作浸渍保持开缝式喷嘴前端的乾燥防止部。
申请公布号 TW200535993 申请公布日期 2005.11.01
申请号 TW094109478 申请日期 2005.03.25
申请人 东京应化工业股份有限公司 发明人 岛井太;河田茂
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本