发明名称 落下管型粒状结晶制造装置及粒状结晶制造方法
摘要 本发明揭示边将无机材料之粒状液滴从旋转坩锅之喷嘴利用离心力吐出而在落下管内自由落下,边将与落下管之内壁面的接触作为凝固触发,急速凝固而制作大致球状的结晶之落下管型粒状结晶制造装置(1)。坩锅(12)系配设于落下管(4)之上端部,收容无机材料的熔融液,可绕垂直轴心旋转,在该坩锅(12)之外周形成有对垂直轴心形成为放射状的小口径之复数喷嘴(23);坩锅(12)系由旋转驱动机构(13)所旋转驱动,且坩锅(12)及收容于坩锅(12)内的无机材料系由加热机构(15)所加热,并由气流形成机构(5)在落下管(4)内部形成冷却用气流。
申请公布号 TW200534917 申请公布日期 2005.11.01
申请号 TW093111214 申请日期 2004.04.21
申请人 京半导体股份有限公司 发明人 中田仗佑
分类号 B01J2/02 主分类号 B01J2/02
代理机构 代理人 赖经臣;宿希成
主权项
地址 日本