电容式矽基微麦克风及其制法

摘要

本发明系一种应用微机电制程所制作之电容式矽基微麦克风，其结构系包含有一开设有音孔之背板晶片，以及一具有一振动膜之振动晶片，且该背板晶片与该振动晶片进行晶片接合后即形成该微麦克风，不仅制程容易，且设计上较有较大之弹性。