| 摘要 |
一种电极卡匣，用于量测电镀膜内应力，包括：一阴极支撑、一阳极支撑、一遮覆板、以及一阳极壳；阴极支撑于一电镀液中支撑一阴极板，且阴极板具有一电镀区域背后连接有一应变规。阳极支撑则于一电镀液中支撑一阳极板，以使阳极板以距离阴极板一预定距离相对设置。遮覆板设置于阳极板与阴极板之间，阳极壳则于电镀液中环绕阳极板的周围和末端。遮覆板具有一穿透孔，且穿透孔系面对电镀区域，且具有一几何形状以一预定参数相对于电镀区域之几何形状减小设置；一开口则设置于阳极壳，且具有一几何形状以另一预定参数相对于电镀区域之几何形状放大设置。 |
