用于感测半导体制程系统中氟或卤素物质之镀镍独立式碳化矽结构,暨其制造及使用方法

摘要

一种于含有含氟物质之气体，例如使用氟化氢(HF)、氟化氮(NF3)等进行蚀刻清洗之半导体制程工具之排放物，检测含氟物质之以微机电系统(MEMS)为主之气体感测器总成。较佳具体例中，此种气体感测器总成包含一独立式碳化矽支持体结构，该支持体结构具有一层气体感测材料较佳为镍或镍合金镀覆于其上。此种气体感测器总成较佳系经由采用牺牲模具之微模制技术制造，该牺牲模具随后被去除，用以形成结构层。