热电浆喷射流合成奈米碳管的方法及装置

摘要

本发明是一种热电浆喷射流合成奈米碳管的方法及装置，其中揭露了一种以高温热电浆喷射流(thermal plasmajet)热源加热碳源前驱物(carbon precursor)，且无须添加金属催化剂(catalyst–free)，即可合成奈米碳管(carbonnanotube)的方法；本方法透过在一低压反应腔内具有不同电性的第一电极和一基底(第二电极)之间的电浆反应区产生高温的热电浆喷射流，再藉由原料供给装置将碳源前驱物送入电浆反应区加热，即可使合成的奈米碳管沉积在基底上；采用低成本碳源作为前驱物，高温加热使碳源前驱物石墨化，生成高结晶度结构缺陷少和高纯度的奈米碳管，大幅提高奈米碳管的品质和合成速率。