一种热介面材料及其制造方法

摘要

本发明提供一种热介面材料，其包括一薄膜及一紧贴于该薄膜之散热膏。其中该薄膜系由形状记忆合金组成，采用真空溅射沈积形成于一基座表面，该形状记忆合金可包括奈米NiTiCu合金。另外，本发明还涉及该热介面材料之制造方法。本发明所提供热介面材料包含具有形状记忆功能、大表面积之奈米级合金薄膜，于热源工作温度下能恢复其最初沈积时形状，以增加其与散热装置之间接触面积，从而使之具有优良热传导性能及高导热效率。