半导体装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种具有贯通电极之半导体装置，而将贯通电极作为电极与制造稳定性将具有极佳的性能。在一半导体装置之上设置一贯通电极，其由一小直径之导电栓塞与一大直径之导电栓塞所构成。使小直径之栓塞的横剖面面积大于一连接栓塞之横剖面面积及其直径，且使小直径之栓塞的横剖面面积小于大直径之栓塞之横剖面面积及其直径。此外，在小直径之栓塞突出于矽基板的状态下所形成的一突出部系插入直径之栓塞的上表面之中。又，小直径之栓塞的上表面系连接至一第一互连构造。