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发明名称
将一复合表面选择性地涂覆的方法,利用此方法制造微电子式互接,以及积体电路
摘要
本发明系关于一种以一导电膜选择性地涂覆一复合表面之特定区域的方法、关于一种制造微电子式互接之方法并关于制造积体电路之制程及方法,更特定言之,关于金属互接网路之形成以及制造微系统及连接器之制程及方法。
申请公布号
TW200535972
申请公布日期
2005.11.01
申请号
TW094108769
申请日期
2005.03.22
申请人
阿西莫公司
发明人
克里斯托夫 布洛;沙米 亚默
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
林镒珠
主权项
地址
法国
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