进阶的多段压力工件制程及方法

摘要

工件制程中运用一转换室与制程室结合。在一预热温度下，将工件加热达一处理温度，接着在小于该预热压力的处理温度下，暴露于一电浆中，在该制程室还可引导快速的压力增加，从该处理压力转变成该预热压力。该转换室压力可维持在该处理压力、该预热压力或上升达一设定压力回填该制程室达该预热压力。在该制程室中，一回填配置可选择地引导急速压力。一旁路配置提供选择的压力连通该转换及制程室之间，同时可用已从该转换室回填该制程室。