从氮化物覆晶的蓝宝石之雷射掀离

摘要

在一种用于制造一覆晶发光二极体元件之方法中，沉积多个磊晶层于一蓝宝石成长基板上以产生一磊晶晶圆。在该磊晶晶圆上制造复数个发光二极体元件。切割该磊晶晶圆以产生一元件晶粒。覆晶接合该元件晶粒至一安装台。该覆晶接合包括藉由接合该元件晶粒之至少一电极至该安装台之至少一焊垫来固定该元件晶粒于该安装台上。继该覆晶接合之后，经由应用雷射光来移除该元件晶粒之该成长基板。