发明名称 电浆清洗用托盘
摘要 一种电浆清洗用托盘,用以承载至少一欲以电浆清洗之平板,平板具有一第一面及相对之一第二面。托盘包括一底板、多数个抬升凸条与多数个定位凸条。底板具有一承载面。多数个抬升凸条连接至底板,并相对突出于承载面,用以支撑平板之第二面的边缘,使得平板之第二面朝向底板之承载面,并与底板之间构成一开放空间。多数个定位凸条分别连接至这些抬升凸条,适于接触平板之侧缘,用以将平板相对定位于底板之承载面的上方。因此,当进行电浆清洗时,平板双面皆可达到有效的清洁效果,并且避免因电弧效应而导致平板的氧化与侵蚀。
申请公布号 TWM279975 申请公布日期 2005.11.01
申请号 TW094209447 申请日期 2005.06.07
申请人 威盛电子股份有限公司 发明人 许晋荣
分类号 H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项 1.一种电浆清洗用托盘,用以承载至少一欲以电浆清洗之平板,其中该平板具有一第一面及相对之一第二面,该托盘包括:一底板,具有一承载面;多数个抬升凸条,连接至该底板,并相对突出于该承载面,用以支撑该平板之该第二面的边缘,使得该平板之该第二面朝向该底板之该承载面,并与该底板之间构成一开放空间;以及多数个定位凸条,分别连接至该些抬升凸条,该些定位凸条用以将该平板相对定位于该底板之该承载面的上方。2.如申请专利范围第1项所述之电浆清洗用托盘,更包括:一对提把,连接于该底板上。3.如申请专利范围第1项所述之电浆清洗用托盘,其中该些抬升凸条系以可拆卸式的方式连接至该底板。4.如申请专利范围第1项所述之电浆清洗用托盘,其中该些定位凸条系以可拆卸式的方式分别连接至该些抬升凸条。5.如申请专利范围第1项所述之电浆清洗用托盘,其中该些定位凸条分别与该些抬升凸条一体成形。6.如申请专利范围第1项所述之电浆清洗用托盘,其中该些定位凸条适于接触该平板之侧缘,该些定位凸条之位置系对应于该平板之尺寸。7.如申请专利范围第1项所述之电浆清洗用托盘,其中该些定位凸条在至少一平行于该承载面之方向上将该平板相对定位于该底板之该承载面的上方。8.如申请专利范围第1项所述之电浆清洗用托盘,其中各该抬升凸条具有一支撑面,其用以支撑该平板之该第二面的边缘,各该定位凸条之侧缘以及与其相连接之各该抬升凸条之侧缘之间具有一第一距离,各该定位凸条之侧缘以及与其相邻之该平板之侧缘之间具有一第二距离,而该第二距离小于该第一距离。图式简单说明:图1绘示习知之一种电浆清洗机的示意图。图2绘示习知之一种用以承载导线架之平板托盘的立体示意图。图3绘示本创作较佳实施例之一种电浆清洗用托盘的立体示意图。图4绘示图3之托盘与平板的局部侧视图。
地址 台北县新店市中正路535号8楼