发明名称 用于强化基材载件处理器操作之方法及设备
摘要 兹提供一种载件搬运器,其适于:(1)在载件到达载件搬运器之范围内之前,接收运送载件之指令;(2)接收终止指令以取消或中止先前的指令,且其与先前指令之状态无关;(3)为错误的执行选定等待的指令以利用最早到达运送系统的载件支架,该载件支架适于搭配被选定的指令及/或根据执行指令所预期需要的时间;(4)从相关的机台移出空乏的载件,以提高埠口的可利用率;(5)即使在运送过程中发生存储位置错误,仍藉着在可用位置清单中删除运送失败的位置而持续进行操作;(6)查核载件的完整性,并在尝试进行运送之前,先传送感测器所得到的目的位置之状态资料;以及(7)利用设有感测器的校正载件来校正载件与运送系统之间的传递。
申请公布号 TW200535076 申请公布日期 2005.11.01
申请号 TW094106144 申请日期 2005.03.01
申请人 应用材料股份有限公司 发明人 德斐拉麦可;布里亚米特
分类号 B65G49/05;G05B19/18 主分类号 B65G49/05
代理机构 代理人 蔡坤财
主权项
地址 美国