图案检视中偶生缺陷之验证

摘要

本发明揭示一种用于验证电路图案中之缺陷之系统与方法，其包括在一自动化检视组件处识别候选缺陷之后将复数个类似的电路图案供应至一缺陷验证组件；将选定的候选缺陷验证为实际缺陷与非实际缺陷之一；以及回应于一给定候选缺陷在至少两个电路图案上实质对应的位置处之重现而标记一候选缺陷。