以半导体制程技术制作之微机电光学切换装置及其制造方法

摘要

一种以半导体技术制作之微机电光学切换装置，包括一具有一掺杂区的矽基层、一与该掺杂区电性连接的控制电路，及至少一反射镜模组；该反射镜模组具有一固设于该矽基层上并与该掺杂区电性连接之导电支承单元、一可活动地设置于该导电支承单元上并与该导电支承单元电性连接之反射镜，以及复数与该控制电路电性连接之控制电板。而其制造方法则是先于该矽基层上形成该导电支承单元及一围绕导电支承单元的介电层，而后于上述导电支承单元及该介电层上形成该反射镜；然后移除邻近上述导电支承单元及该反射镜之部分介电层。