发明名称 用于接触电子组件之悬臂梁微探针及制造该等探针之方法
摘要 此处所揭露之实施例系指定于用以制造和电子电路及其相似物之暂时或常置之接触的可挠性探针结构。特定地,该等实施例系指定于悬臂梁似探针结构之各种设计。在若干实施例中,例如,悬臂梁探针具有延长之基底结构,滑入架设结构,多重杠杆构形,允许相邻探针能较靠近地配置之分枝的黏结位置,具有张力构形之可挠性元件,经改良之过调量,经改良之可挠性,经改良之摩擦能力及/或其相似物。
申请公布号 TW200536039 申请公布日期 2005.11.01
申请号 TW093141480 申请日期 2004.12.30
申请人 微制造股份有限公司 发明人 陈;克鲁格里克;班;史摩里;雷姆布瑞可夫
分类号 H01L21/70;G01R1/06 主分类号 H01L21/70
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 美国
您可能感兴趣的专利