| 主权项 |
1.一种门型XY滑动台座,包括: 平台; 一对支柱,由系杨氏系数200GPa以上之第一复合材料 构成,在该平台上在和该平台之上面平行之第一方 向相隔离的设置成在和该第一方向交叉之第二方 向可移动; 梁,由系杨氏系数200GPa以上之第二复合材料构成, 舖设于该一对支柱之间;以及 移动基座,对于该梁设置成在该第一方向可移动。 2.如申请专利范围第1项之门型XY滑动台座,其中,该 第一及第二复合材料之中至少一方系炭纤维强化 塑胶。 3.如申请专利范围第1项之门型XY滑动台座,其中,该 梁系由在其上面形成了第一孔之壳构成之中空体; 且包括: 直动式导引轴承,由金属或合金构成,配置于该梁 之上面,在和该第一孔整合之位置形成第二孔,导 引该移动基座之移动; 背贴件,由金属或合金构成,配置于在该梁之内部 之隔着该壳和该直动式导引轴承相向之位置,在和 该第一孔整合之位置形成第三孔;以及 固定构件,插穿该第二孔、该第一孔以及该第三孔 后将该直动式导引轴承固定于该梁。 4.如申请专利范围第3项之门型XY滑动台座,其中,该 第三孔系螺丝孔,该固定构件系和该螺丝孔螺合之 螺栓。 5.如申请专利范围第3项之门型XY滑动台座,其中,在 该梁之内部设置由该第二复合材料构成并在垂直 方向延伸之支撑件。 6.如申请专利范围第1项之门型XY滑动台座,其中,该 梁之上面及该支柱之下面系在将该梁和该支柱黏 接后研磨的。 7.如申请专利范围第1项之门型XY滑动台座,其中,装 载于液晶显示器之缺陷检查装置。 8.如申请专利范围第1项之门型XY滑动台座,其中,装 载于半导体元件之缺陷检查装置。 9.如申请专利范围第1项之门型XY滑动台座,其中,具 有固定于该移动基座之雷射照射装置。 10.如申请专利范围第9项之门型XY滑动台座,其中, 装载于液晶显示器之雷射修理装置。 11.如申请专利范围第9项之门型XY滑动台座,其中, 装载于液晶光罩之雷射修理装置。 12.如申请专利范围第9项之门型XY滑动台座,其中, 装载于太阳能电池面板之图案产生装置。 图式简单说明: 图1系表示本发明之一实施例之门型XY滑动台座之 立体图。 图2系表示图1所示之门型XY滑动台座之梁及其周边 之剖面图。 图3A至图3D系随时间表示图1所示之门型XY滑动台座 之动作之侧视图。 |
