发明名称 基板用匣
摘要 本发明基板用匣,其目的为提供一种即使是以匣支撑用支撑装置的支撑部所接触的匣下框体局部的部份来支撑收容有大型基板的匣全重量,匣所产生的弯曲变形也不会波及影响到所收容的基板,并且已是极力抑制其本身重量增加的基板用匣。发明构成:其为可收纳复数基板,于上框体和下框体间架设有复数支撑体的基板用匣,其下框体,是在具备着以相互交叉的2支栈和四角形框所构成的大致呈田字形部份的同时,具备有从上述2支栈的交点沿着该2支栈中的一方栈离有第1距离的位置开始,与上述2支栈中的另一方栈不相交地,延伸到从四角形框的角部沿着四角形框的直线部份离有第2距离的位置为止的加强栈。
申请公布号 TWI242830 申请公布日期 2005.11.01
申请号 TW092117854 申请日期 2003.06.30
申请人 夏普股份有限公司;星光工业股份有限公司 发明人 吉泽武德;大槻功次;冈田胜实;松隈博喜
分类号 H01L21/68;B65D85/86 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种基板用匣,其可收纳复数基板,是于上框体和 下框体间架设有复数支撑体的基板用匣,其特征为 :上述下框体,是具备着相互交叉的2支栈和四角形 框所构成的大致呈田字形部份的同时,具备有从上 述2支栈的交点沿着该2支栈中的一方栈离有第1距 离的位置开始,与上述2支栈中的另一方栈不相交 地,延伸到从四角形框的角部沿着四角形框的直线 部份离有第2距离的位置为止的加强栈。 2.一种基板用匣,其可收纳复数基板,是于上框体和 下框体间架设有复数支撑体的基板用匣,其特征为 :上述下框体,是具备着相互交叉的2支栈和四角形 框所构成的大致呈田字形部份的同时,具备有从上 述2支栈的交点沿着该2支栈中的一方栈离有第1距 离的位置开始,与上述2支栈中的另一方栈不相交 地,延伸至上述四角形框的角部为止的加强栈。 3.一种基板用匣,其可收纳复数基板,是于上框体和 下框体间架设有复数支撑体的基板用匣,其特征为 :上述下框体,是具备着相互交叉的2支栈和四角形 框所构成的大致呈田字形部份的同时,具备有从上 述2支栈的交点开始,延伸至从上述四角形框的角 部沿着上述四角形框的直线部份离有第2距离的位 置为止的加强栈。 4.如申请专利范围第1项或第2项所记载的基板用匣 ,其中,上述第1距离,是比上述一方栈和上述加强栈 的交点起,与上述2支栈中的另一方栈不相交地,至 沿着上述一方栈相交在上述四角形框上的交点为 止的距离还小。 5.如申请专利范围第1项或第3项所记载的基板用匣 ,其中,上述第2距离,是比上述四角形框和上述加强 栈的交点起,至沿着包括着该交点的上述四角形框 的直线部份相交在上述一方栈或上述另一方栈上 的交点为止的距离还小。 6.如申请专利范围第1项至第3项中任一项所记载的 基板用匣,其中,在上述支撑体上突设有上述基板 载置支撑用的棚片。 7.如申请专利范围第1项或第2项所记载的基板用匣 ,其中,上述第1距离,是形成为80~200mm。 8.如申请专利范围第1项或第3项所记载的基板用匣 ,其中,上述第2距离,是形成为80~200mm。 9.如申请专利范围第1项至第3项中任一项所记载的 基板用匣,其中,上述上框体是以大致呈田字形框 体构成。 10.如申请专利范围第1项至第3项中任一项所记载 的基板用匣,其中,是在上述支撑体上于上下方向 在每个指定间隔突设有上述基板载置支撑用侧部 棚片的同时,上述侧部棚片,是在上述基板收容用 的匣有效宽度为W,该侧部棚片的突出长度为L时,其 关系是设定成1/4<L/W<1∕2。 11.如申请专利范围第1项至第3项中任一项所记载 的基板用匣,其中,是在上述支撑体上于上下方向 在每个指定间隔突设有上述基板载置支撑用侧部 棚片的同时,上述侧部棚片,是在上述基板收容用 的匣有效宽度为W,该侧部棚片的突出长度为L时,其 关系是设定成1/4<L/W的同时,位于两侧上的侧部棚 片前端的间隔D至少是设定成基板出入用机器手臂 叉可通过的间隔。 12.如申请专利范围第10项所记载的基板用匣,其中, 上述侧部棚片,为棒状或板状,其主要部份是以金 属材或陶瓷材或碳纤和合成树脂的复合材制成,至 少于其前端部是设有上述基板载置支撑用的载置 支撑部。 13.如申请专利范围第11项所记载的基板用匣,其中, 上述侧部棚片,为棒状或板状,其主要部份是以金 属材或陶瓷材或碳纤和合成树脂的复合材制成,至 少于其前端部是设有上述基板载置支撑用的载置 支撑部。 14.如申请专利范围第10项所记载的基板用匣,其中, 上述侧部棚片,是在金属制支撑销的至少前端部和 基部设有上述基板载置支撑用的合成树脂制载置 支撑部。 15.如申请专利范围第11项所记载的基板用匣,其中, 上述侧部棚片,是在金属制支撑销的至少前端部和 基部设有上述基板载置支撑用的合成树脂制载置 支撑部。 16.如申请专利范围第14项所记载的基板用匣,其中, 上述侧部棚片的支撑销全长都是以氟素烤漆或以 合成树脂包覆着。 17.如申请专利范围第15项所记载的基板用匣,其中, 上述侧部棚片的支撑销全长都是以氟素烤漆或以 合成树脂包覆着。 18.如申请专利范围第14项所记载的基板用匣,其中, 是于上述支撑体在每一定间隔形成有贯穿内外的 安装孔,在留有上述支撑销的基端然后于基端部上 一体形成有接合于该支撑体内侧面的合成树脂制 保持构件的同时,于该支撑销的基端形成有螺轴部 ,以该螺轴部是从内方插入在上述支撑体的安装孔 并且是将上述保持构件接合在支撑体内面侧的状 态,从外侧对上述螺轴部螺合螺帽,在上述支撑体 上形成为突设着侧部棚片。 19.如申请专利范围第15项所记载的基板用匣,其中, 是于上述支撑体在每一定间隔形成有贯穿内外的 安装孔,在留有上述支撑销的基端然后于基端部上 一体形成有接合于该支撑体内侧面的合成树脂制 保持构件的同时,于该支撑销的基端形成有螺轴部 ,以该螺轴部是从内方插入在上述支撑体的安装孔 并且是将上述保持构件接合在支撑体内面侧的状 态,从外侧对上述螺轴部螺合螺帽,在上述支撑体 上形成为突设着侧部棚片。 20.如申请专利范围第18项所记载的基板用匣,其中, 是于设置在上述侧部棚片的支撑销基端部上的保 持构件,设有上述基板侧缘抵接止动用的缓冲部。 21.如申请专利范围第19项所记载的基板用匣,其中, 是于设置在上述侧部棚片的支撑销基端部上的保 持构件,设有上述基板侧缘抵接止动用的缓冲部。 22.如申请专利范围第1项至第3项中任一项所记载 的基板用匣,其中,是于配设在左右的上述支撑体 上,在内侧于上下方向的每个指定间隔突设有基板 载置支撑用的侧部棚片的同时,其是形成为至少可 收容2种类宽度不同的上述基板;于上述侧部棚片 的前端部,设有上述基板左右侧部载置支撑用的侧 部载置支撑部的同时,于上述侧部棚片的基端部, 设有可抵接止动第1基板左端或右端的外侧侧止动 件,于上述侧部棚片的中途部,设有有可抵接止动 比上述第1基板还宽度窄的第2基板左端或右端的 内侧侧止动件。 23.如申请专利范围第22项所记载的基板用匣,其中, 是在同一上述侧部棚片上,具备有要各别应对于宽 度不同的复数上述第2基板的上述内侧侧止动件。 24.如申请专利范围第22项所记载的基板用匣,其中, 是将配合着上述基板深度尺寸而附设的可拆装的 中央部支撑体,立设在欲收容的上述基板后端边位 置上,连结于上述上框体和上述下框体的同时,于 上述中央支撑体上在前方的上述每个指定间隔突 设有上述基板载置支撑用的后部棚片,于该后部棚 片前端部上设有上述基板后部载置支撑用的后部 载置支撑部。 25.如申请专利范围第24项所记载的基板用匣,其中, 上述后部载置支撑部的上端位置,是形成为要比可 将被载置支撑在该后部载置支撑部上的上述基板 于同时载置支撑的上述侧部棚片上所设置的上述 侧部载置支撑部的上端位置还高。 26.如申请专利范围第22项所记载的基板用匣,其中, 是将上述内侧侧止动件的上端高度,形成为等于上 述侧部载置支撑部的上端高度。 27.如申请专利范围第24项所记载的基板用匣,其中, 是将被设置成比上述内侧侧止动件的上述上端还 低位置上的上述第2基板左端或右端保持用的保持 部和从该保持部竖立的限制部具备在上述内侧侧 止动件上的同时,将上述后部棚片的高度,设定成 上述第2基板的上述左端及上述右端是比上述侧部 载置支撑部还低。 28.如申请专利范围第24项所记载的基板用匣,其中, 是将上述后部棚片的长度设定成上述后部载置支 撑部是可载置支撑着上述基板的大致呈中心部。 29.如申请专利范围第24项所记载的基板用匣,其中, 是于上述后部棚片的基端部,设有上述基板后端抵 接止动用的后部棚片后止动件。 30.如申请专利范围第22项所记载的基板用匣,其中, 是于上述侧部棚片,备有可抵接止动着上述基板后 端的同时于上下方向具挠性的侧部棚片后止动件 。 31.如申请专利范围第22项所记载的基板用匣,其中, 是于最前部左右的上述支撑体上,将上述侧部棚片 取代成是突设有具备着上述基板前端抵接止动用 的前止动件。 图式简单说明: 第1图为第1实施例的基板用匣透视图。 第2图为第1实施例的基板用匣平面图。 第3图为为第1实施例的基板用匣下框体的局部放 大平面图。 第4(a)、(b)图为示有匣定位导件的基板用匣下框体 平面图。 第5图为第2实施例的基板用匣平面图。 第6(a)~(h)图为表示支撑装置等的支撑部形状和第1 实施例的基板用匣下框体的各种关系模式图(其1) 。 第7(a)~(g)图为表示支撑装置等的支撑部形状和第1 实施例的基板用匣下框体的各种关系模式图(其2) 。 第8(a)~(h)图为表示支撑装置等的支撑部形状和第2 实施例的基板用匣下框体的各种关系模式图(其1) 。 第9(a)~(g)图为表示支撑装置等的支撑部形状和第2 实施例的基板用匣下框体的各种关系模式图(其2) 。 第10(a)~(h)图为表示支撑装置等的支撑部形状和习 知例的基板用匣下框体的各种关系模式图(其1)。 第11(a)~(g)图为表示支撑装置等的支撑部形状和习 知例的基板用匣下框体的各种关系模式图(其2)。 第12图为夸张表现使用模式图为第6(a)图时的第1实 施例的基板用匣线形构造解析状况图。 第13(a)图为第3实施例的基板用匣下框体平面图,第 13(b)图为第4实施例的基板用匣下框体平面图。 第14(a)图为第5实施例的基板用匣下框体平面图,第 14(b)图为第6实施例的基板用匣下框体平面图。 第15(a)图为第7实施例的基板用匣下框体平面图,第 15(b)图为第8实施例的基板用匣下框体平面图。 第16图为第9实施例的基板用匣整体侧面图。 第17图为第9实施例的基板用匣正面图。 第18图为表示第9实施例的基板用匣侧部棚片和侧 部支撑体的关系部份透视图。 第19图为第9实施例的基板用匣侧部支撑体上侧部 棚片突设状态局部省大致呈剖面图。 第20图为表示第9实施例的基板用匣使用机器手臂 叉将基板要收容在匣内前的状态简大致呈平面图 。 第21图为表示第9实施例的基板用匣使用机器手臂 叉将基板收容在匣内后的状态简大致呈平面图。 第22图为第9实施例的基板用匣的两侧侧部棚片载 置支撑着基板时的载置支撑状态简大致呈平面图 。 第23图为第9实施例的基板用匣侧部棚片的另一实 施形态透视图(其1)。 第24图为第9实施例的基板用匣侧部棚片的另一实 施形态剖面图(其1)。 第25图为第9实施例的基板用匣侧部棚片的又另一 实施形态透视图(其2)。 第26图为第9实施例的基板用匣侧部棚片的另一实 施形态剖面图(其2)。 第27图为表示第10实施例的基板用匣的外观透视图 。 第28图为将第10实施例的基板用匣的可拆装的局部 构件从匣拆掉后的透视图。 第29图为第10实施例的基板用匣省大致呈上框体后 的状态平面图。 第30(a)图为第10实施例的侧部支撑体局部说明图, 第30(b)图为突设在侧部支撑体上的侧部棚片说明 图。 第31图为突设在第10实施例的基板用匣侧部支撑体 上的侧部棚片透视图。 第32图为突设在第10实施例的基板用匣角部支撑体 上的前侧部棚片透视图。 第33图为突设在第10实施例的基板用匣角部支撑体 上的前侧部棚片说明图。 第34图为表示第10实施例的基板用匣中央部支撑体 及其安装方法的说明图。 第35图为表示第10实施例的基板用匣中小型基板被 收容在内的状态说明图。 第36图为表示第10实施例的基板用匣侧部棚片和后 部棚片的关系说明图。 第37图为表示第10实施例的基板用匣中大型基板或 中型基被收容在内的状态说明图。 第38(a)图为第10实施例的基板用匣中具备有侧部后 止动件的侧部棚片透视图,第38(b)图为其说明图。 第39图为立设在第10实施例的基板用匣角部支撑体 上的前侧部棚片另一实施例透视图。
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