首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
Suppressing lithography at a wafer edge
摘要
Damage to the rim of a semiconductor wafer caused by etching processes is reduced by forming a rim of carbonized photoresist around the outer edge of the wafer, using a wafer edge tool to carbonize the outer rim of a positive tone photoresist.
申请公布号
US6960532(B2)
申请公布日期
2005.11.01
申请号
US20030248911
申请日期
2003.02.28
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
CHEN LINDA A.;LI WAI-KIN
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/308;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
DRIVSTOFF-LAAS
FOTOPYROTEKNISK TENNINNRETNING OMFATTENDE EN MIKROLINSE INNFATTET I ET HUKOMMELSESMATERIALE OG PYROTEKNISK KJEDE SOM BENYTTER INNRETNINGEN, SAMT EN FREMGANGSMAATE TIL AA MONTERE MIKROLINSEN
FRAMGANGSMAATE FOR FRAMSTILLING AV 1,5-BENZOTIAZEPINDERIVATER
ENDOSCOPIC SURGICAL INSTRUMENT INSTRUMENT FOR ASPIRATION ANDIRRIGATION
PAO HARTSEMULSION BASERAT YTLIMNINGSMEDEL, ETT DAERMED LIMMAT PAPPER OCHETT LIMNINGSFOERFARANDE FOER UTNYTTJANDE DAERAV
SOLVENT RESISTANT LATEX PAINT
MODULUPPBYGGD FJAERRABONNENTCENTRAL
SUN VISOR FOR VEHICLE
TANK OF SPRAYER
SEAT FOR A WATER-CLOSET BOWL
COPOLYMERS OF ETHYLENICALLY UNSATURATED ETHERS USEFUL AS HYDRAULIC CEMENT SUPERPLASTICIZERS
ORBITING ROTARY COMPRESSOR WITH ADJUSTABLE ECCENTRIC
HEAT TREATING OIL COMPOSITION HEAT TREATING OIL COMPOSITION
SOVENSBESTAENDIG LATEXFAERG
FREMGANGSMAADE OG MIDDEL TIL BESKYTTELSE AF KULTURPLANTER MOD FYTOTOKSISKE BIVIRKNINGER AF FENOXAPROP-ETHYL SAMT ANVENDELSE AF MIDLET
BEFUGTNINGSANLAEG TIL LEVERING AF VAESKE FRA ET RESERVOIR TIL ET PATRONMODUL
STROEMNINGSMAALER AF HVIRVELTYPEN
Lægning af undervandskabler
Fremgangsmåde og apparat til gevindskæring
Fremgangsmåde til separering af to isomere og anvendelse deraf ved rensning af 1-phenyl-2-brom-ethan