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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20050103689(A) 申请公布日期 2005.11.01
申请号 KR20040028966 申请日期 2004.04.27
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KONG, YOO CHUL;PARK, JONG CHUL
分类号 H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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