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发明名称 Elektronenmicroscoop.
摘要
申请公布号 NL1024341(C2) 申请公布日期 2005.11.01
申请号 NL20031024341 申请日期 2003.09.22
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KAZUTOSHI KAJI;SHOHEI TERADA;TADASHI OTAKA
分类号 H01J37/26;H01J37/05;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/05;H01J49/46 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
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