发明名称 Trench isolation method of semiconductor integrated circuit
摘要
申请公布号 KR100524916(B1) 申请公布日期 2005.10.31
申请号 KR19990001273 申请日期 1999.01.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址