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发明名称 Method for forming a metal line using damascene process
摘要
申请公布号 KR100524928(B1) 申请公布日期 2005.10.31
申请号 KR19990034150 申请日期 1999.08.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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