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经营范围
发明名称
CLEAN ROOM SYSTEM
摘要
申请公布号
KR100524875(B1)
申请公布日期
2005.10.31
申请号
KR20030042960
申请日期
2003.06.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/02;F24F3/16;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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