发明名称 POLISHING LIQUID COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR100525031(B1) 申请公布日期 2005.10.31
申请号 KR20047020475 申请日期 2000.07.07
申请人 发明人
分类号 C09K3/14;C09G1/02;C23F3/00;H01L21/3105;H01L21/321;(IPC1-7):C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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