发明名称 IMPROVED TECHNIQUES FOR FORMING TRENCH CAPACITORS IN AN INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 KR100524476(B1) 申请公布日期 2005.10.31
申请号 KR19990005743 申请日期 1999.02.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/8239;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8239
代理机构 代理人
主权项
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