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发明名称 APPARATUS FOR LEVELING
摘要
申请公布号 KR20050103326(A) 申请公布日期 2005.10.31
申请号 KR20040028560 申请日期 2004.04.26
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KO, YONG SEOK
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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