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发明名称
PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号
SG115819(A1)
申请公布日期
2005.10.28
申请号
SG20050001991
申请日期
2005.03.30
申请人
ASML HOLDING N.V.
发明人
BOGUSLAW GAJDECZKO;KEVIN J. VIOLETTE
分类号
G01L9/00;H01H35/34
主分类号
G01L9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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