| 发明名称 |
LITHOGRAPHIC APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND COMPUTER PROGRAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG115670(A1) |
申请公布日期 |
2005.10.28 |
| 申请号 |
SG20040002025 |
申请日期 |
2004.04.14 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
ADRIAENS, JOHANNES MATHIAS THEODORUS ANTONIUS;BEEMS, MARCEL HENDRIKUS MARIA;VAN DER PASCH, ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/00;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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