ENVELOPPE DE TRANSPORT A PROTECTION PAR EFFET THERMOPHORESE

摘要

Une enveloppe de transport (1) pour masque ou plaquette de semi-conducteur (2) selon l'invention comprend une paroi périphérique étanche (3) entourant un espace intérieur (4) recevant le masque ou la plaquette de semi-conducteur (2). Des moyens supports (11) thermiquement conducteurs maintiennent le masque ou la plaquette de semi-conducteur (2). Une plaque refroidie (7), couplée thermiquement à un générateur de froid (8), génère un gradient thermique face à la face principale (6) du masque ou de la plaquette de semi-conducteur (2) à protéger contre les pollutions particulaires. La plaque refroidie (7) est tenue par des moyens de liaison (7b) munis de moyens d'isolement thermique (7c). Une source d'énergie embarquée (9) alimente le générateur de froid (8). On réduit ainsi sensiblement le dépôt de particules polluantes sur la face principale (6) du masque ou de la plaquette de semi-conducteur (2).