| 摘要 |
<P>Un dispositif de transport de substrats (3) selon l'invention comprend une enceinte de mini-environnement (1) déplaçable qui peut être accouplée sur une station de conditionnement (22). L'enceinte de mini-environnement (1) comprend une micropompe (12) dont l'aspiration est connectée à une cavité intérieure (2) destinée à contenir le substrat (3) à transporter. Une réserve d'énergie (16) est également prévue dans l'enceinte de mini-environnement (1) pour alimenter la micropompe (12). L'enceinte de mini-environnement (1) comprend une coque périphérique (4) ouverte sur deux faces principales (5, 6) opposées, et comportant une ouverture latérale obturable (7). Une première paroi principale (8) est rapportée pour obturer de façon étanche la première face principale (5). Une seconde paroi principale (9) est rapportée et fixée pour obturer de façon étanche la seconde face principale (6). On facilite ainsi la fabrication de l'enceinte de mini-environnement, tout en permettant sa modularité pour donner aux parois principales (8, 9) des fonctions différentes et interchangeables.</P> |
