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发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 SG115660(A1) 申请公布日期 2005.10.28
申请号 SG20040001894 申请日期 2004.04.02
申请人 ASML NETHERLANDS B.V. 发明人 COX, HENRIKUS HERMAN MARIE;FRANKEN, DOMINICUS JACOBUS PETRUS ADRIANUS;KEMPER, NICOLAAS RUDOLF;VAN DER PASCH, ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS;VERBUNT, MARTIJN JOHANNES;VAN DEN WILDENBERG, LAMBERTUS ADRIANUS
分类号 G21K5/00;G03F7/20;G21K5/02;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
主权项
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