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发明名称 THERMAL TREATMENT SYSTEM FOR SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 SG115652(A1) 申请公布日期 2005.10.28
申请号 SG20040001645 申请日期 2004.03.25
申请人 ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED 发明人 MASAAKI TAKATA;NOBUO KAGEYAMA;SUSUMU OTAGURO;JIRO NISHIHAMA
分类号 H01L21/324;C23C16/44;C23C16/46;C30B33/02;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;C23C16/00;C36B25/08 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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