| 发明名称 |
Vorrichtung zum beidseitigen Beschichten von Substraten mit einer hydrophoben Schicht |
| 摘要 |
Eine Vorrichtung zum beidseitigen Beschichten von Substraten (10) mit einer hydrophoben Schicht in einer Vakuumbeschichtungsanlage (20) weist einen Substrathalter (26) auf. Auf einer Seite des Substrathalters (26) ist ein erster Verdampfer (48) zum Verdampfen eines die hydrophobe Schicht bildenden Stoffes angeordnet. Auf der dieser Seite gegenüberliegenden anderen Seite ist ein zweiter Verdampfer (50) angeordnet (Fig. 2).
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| 申请公布号 |
DE102004018435(A1) |
申请公布日期 |
2005.10.27 |
| 申请号 |
DE200410018435 |
申请日期 |
2004.04.06 |
| 申请人 |
CARL ZEISS;LEYBOLD OPTICS GMBH |
发明人 |
ZUELTZKE, WALTER;FUHR, MARKUS;WINTER, KARL HEINZ;WICHT, MANFRED |
| 分类号 |
B05C9/02;C23C14/24;C23C14/32;C23C14/50;(IPC1-7):B05C9/02 |
主分类号 |
B05C9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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