发明名称 Compliant multi-composition interconnects
摘要 A compliant interconnect with two or more layers of metal of two or more compositions with internal stresses is described herein.
申请公布号 US2005239275(A1) 申请公布日期 2005.10.27
申请号 US20040832178 申请日期 2004.04.26
申请人 MUTHUKUMAR SRIRAM;DORY THOMAS S 发明人 MUTHUKUMAR SRIRAM;DORY THOMAS S.
分类号 H01L21/20;H01L21/44;H01L23/485;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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