发明名称 POSITIV ARBEITENDE, NEUE PHOTOAKTIVE VERBINDUNGEN ENTHALTENDE PHOTORESISTE
摘要
申请公布号 DE69826642(T2) 申请公布日期 2005.10.27
申请号 DE19986026642T 申请日期 1998.02.26
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LTD., ROAD TOWN 发明人 DURHAM;DANA, L;LU, PING-HUNG;OBERLANDER, E.;KHANNA, N.
分类号 C08K5/00;C08L61/06;C08L101/12;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 C08K5/00
代理机构 代理人
主权项
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