发明名称 STORAGE FACILITY FOR USE IN A CLEAN-ROOM
摘要
申请公布号 KR100524359(B1) 申请公布日期 2005.10.27
申请号 KR20020049266 申请日期 2002.08.20
申请人 发明人
分类号 B65G1/00;B65G49/00;F24F3/16;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):B65G1/00 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
主权项
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