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发明名称
SINGLE-POLE, DOUBLE-THROW MEMS SWITCH
摘要
MEMS switches of varying configurations provide individu-ally acutatable contacts. The MEMS switches are sealed by an improved anodic bonding technique.
申请公布号
WO2005099410(A2)
申请公布日期
2005.10.27
申请号
WO2005US12244
申请日期
2005.04.12
申请人
PASHBY, GARY, JOSEPH;SIVERTA, INC.;SLATER, TIMOTHY, G.;GOTTLIEB, GLENN
发明人
PASHBY, GARY, JOSEPH;SLATER, TIMOTHY, G.;GOTTLIEB, GLENN
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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