Verfahren zur Reinigung und Ätzung eines Substrates mit einer transparenten, leitfähigen Oxidschicht, sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

摘要

Die Erfindung beschreibt ein einfaches Verfahren zur Behandlung von Substraten, die auf starren oder flexiblen Trägern angeordnete und vorstrukturierte Zinkoxidschichten aufweisen, bei dem das ZnO mit einem Ätzmedium und anschließend mit einer Reinigungsflüssigkeit behandelt wird. Dabei erfolgt die Behandlung mit der Ätzflüssigkeit und der Reinigungsflüssigkeit, während das Substrat durch eine Vorrichtung transportiert wird. Das Verfahren ist prozesstechnisch wenig aufwändig und ermöglicht regelmäßig eine homogene Aufrauung und Texturierung von bis zu 1 m·2· großen ZnO-Schichten. DOLLAR A Die Vorrichtung zur Behandlung von Substraten, die auf starren oder flexiblen Trägern angeordnete vorstrukturierte Zinkoxidschichten aufweisen, weist dazu ein erstes Mittel zum Behandeln des Substrates mit einer Ätzflüssigkeit, ein zweites Mittel zum Behandeln des Substrates mit Reinigungsflüssigkeit und ein weiteres Mittel, insbesondere Transportrollen, zum Transport des Substrates von dem ersten zum zweiten Mittel auf.