Mikrowellenlampennetzanschluss, der einer Störung in einem Hochspannungskreis widerstehen kann

摘要

Ein eine Strahlung erzeugendes System zum Behandeln einer Schicht auf einem Substrat. Ein Hochspannungskreis liefert Leistung an einen Mikrowellengenerator, der wiederum Mikrowellenstrahlung liefert, um eine Lampe zu treiben. Eine Strombegrenzungseinrichtung ist zwischen dem Hochspannungskreis und dem Mikrowellengenerator angeschlossen, und ein Fehleranzeiger ist an den Hochspannungskreis angeschlossen, um in Reaktion auf einen dem Mikrowellengenerator zugeführten übermäßigen Strom ein Fehlersignal vorzusehen. Eine Steuerung ist wirksam, um die Abgabe von Wechselstromleistung zum Hochspannungskreis in Reaktion auf das Fehlersignal zu unterbrechen.