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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zur automatisierten Prüfung von Photomasken
摘要
申请公布号
DE69534469(D1)
申请公布日期
2005.10.27
申请号
DE19956034469
申请日期
1995.07.11
申请人
KLA-TENCOR CORP., SAN JOSE
发明人
EMERY, GARTH;SAIDIN, KAHUNA;WIHL, J.;FU, TAO-YI;ZYWNO, MAREK;KVAMME, F.;FEIN, E.
分类号
G01B11/30;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;G03F1/00;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88
主分类号
G01B11/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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