发明名称 Process for manufacturing integrated chemical microreactors of semiconductor material, and integrated microreactor
摘要
申请公布号 EP1161985(B1) 申请公布日期 2005.10.26
申请号 EP20000830400 申请日期 2000.06.05
申请人 STMICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 VILLA, FLAVIO;MASTROMATTEO, UBALDO;BARLOCCHI, GABRIELE;CATTANEO, MAURO
分类号 B01J19/00;B01L3/00;B01L7/00;B81B3/00;(IPC1-7):B01J19/00 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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