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发明名称 MIDDLE LAYER OF DIE STRUCTURE THAT COMPRISES A CAVITY THAT HOLDS AN ALKALI METAL
摘要
申请公布号 CA2497944(A1) 申请公布日期 2005.10.26
申请号 CA20052497944 申请日期 2005.02.22
申请人 NORTHROP GRUMMAN CORPORATION 发明人 STEWART, ROBERT E.;ABBINK, HENRY C.;DEBLEY, WILLIAM P.;GEOSLING, CHRISTINE E.;SAKAIDA, DARYL K.
分类号 G04F5/14;(IPC1-7):H01L21/50;B32B15/01;B81C5/00;H01L21/56;H01L23/28;H01S5/02 主分类号 G04F5/14
代理机构 代理人
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