用于高功率半导体激光列阵光束准直、聚焦装置

摘要

本发明涉及半导体激光列阵光束整形、准直聚焦装置。包括：光纤束1、第一平凸透镜2、第二平凸透镜3、平凹透镜4、双凹透镜5、双凸透镜6、第三平凸透镜7、第四平凸透镜8。解决半导体激光器列阵的基模场分布与光纤的基模场分布不一致，耦合进入光纤的激光束的模场分布不完全对称，激光在光纤中传输时的全反射波导形式，决定的激光束出纤后，必然存在一定的发散角，十几根甚至几十根光纤集成一束后，明显暴露出光斑亮度不均匀、有暗点、远场发散角大等缺陷。本发明的装置解决半导体激光列阵光纤耦合模块出纤光束质量问题，实现高功率、高亮度、光束强度分布均匀、准直性好的高质量光束输出，提供用于高功率半导体激光列阵光束准直、聚焦装置。

主权项

1、用于高功率半导体激光列阵光束准直装置，包括：光纤束(1)，其特征在于：在光束传播方向依次放置光纤束(1)、第一平凸透镜(2)、第二平凸透镜(3)、平凹透镜(4)、双凹透镜(5)、双凸透镜(6)、第三平凸透镜(7)，光纤束(1)与第一平凸透镜(2)相互对应放置，且第一平凸透镜(2)的凸面放置于靠近光纤束(1)输出面一边；第二平凸透镜(3)的凸面与第一平凸透镜(2)的平面相互对应放置；平凹透镜(4)的凹面与第二平凸透镜(3)的平面相互对应放置；第一平凸透镜(2)、第二平凸透镜(3)与平凹透镜(4)的组合焦点在靠近平凹透镜(4)的凹面一边；第一平凸透镜(2)、第二平凸透镜(3)对光纤束(1)中的多根光纤输出的光束进行消像差、聚焦；平凹透镜(4)加长物距，使光束强度分布均匀；双凹透镜(5)、双凸透镜(6)对聚焦后的强度分布均匀的光束消球差、慧差，双凹透镜(5)、双凸透镜(6)是胶合，双凹透镜(5)和双凸透镜(6)与平凹透镜(4)的平面相互对应放置，且双凹透镜(5)不胶合的凹面靠近平凹透镜(4)的平面一边；第三平凸透镜(7)的平面与双凸透镜(6)不胶合的凸面相互对应放置，且第三平凸透镜(7)的平面靠近双凸透镜(6)不胶合的凸面；双凹透镜(5)、双凸透镜(6)、第三平凸透镜(7)的焦点与第一平凸透镜(2)、第二平凸透镜(3)和平凹透镜(4)的组合焦点重合，使经过平凹透镜(4)的强度分布均匀的光束变成平行光。