基于动态差动补偿方法的二维光电自准直装置和测量方法

摘要

本发明属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域，特别涉及一种基于动态差动补偿方法实时补偿光束的角漂移量的高精度二维光电自准直装置和测量方法。所述装置包括依次放置的光源、分划板、CCD图像传感器、分光棱镜、准直物镜和测量反射镜，在准直物镜和测量反射镜之间放置一分光镜片。分光镜片为光学基片的两面分别镀有分光膜和增透膜，光学基片的表面粗糙度优于0.08um，镜片两面的平行度小于10″，所镀分光膜的分光比为：52/48≤T/R≤72/28，增透膜要求透过率系数α≥99％。本发明采用新颖的共光路光学差动结构，将光束的角漂移量转变为共模误差，实时分离和动态补偿光束的角漂移量引起的角度测量偏差，提高二维光电自准直仪的测量稳定性、重复性和测量不确定度。

主权项

1.一种基于动态差动补偿方法的二维光电自准直装置，包括依次放置的光源、分划板、CCD图像传感器、分光棱镜、准直物镜和测量反射镜，其特征在于在准直物镜和测量反射镜之间放置一分光镜片。